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无尘车间系统的维护保养管理知识

无尘车间内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内。

无尘车间内之生产制造设备注意之重点：

产设备之选择、布置与保养：

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

h.应加强注意室内的温湿度控制，水濂柜避免因湿度之不当造成结露生锈。

i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘车间之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

k.应有无尘室***工具组，但不得带出无尘车间外使用。

l.规划空间时若能临近无尘车间设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

查看服装的辅料是不是不易发尘以下的辅料均有也许对无尘车间环境形成污染：含短纤维的缝纫线、洗标、耳网布、袖口罗纹、脚口罗纹、会发尘的拉毛粘扣带、镀层会掉落的拉链、打印油墨易掉落的服装标识等。这也是评估一件洁净服是不是合格的重要因素。洁净服的所有辅料有必要运用不易发尘的资料。 

查看洁净服的裁剪和缝制是不是契合标准不妥的裁剪和缝制会添加洁净服的发尘量，这是由于服装裁片的边缘会向外散发微粒，因而，洁净服请求运用卷边、三折边、滚边、或四折边等办法对裁片的衔接进行处理。而且，关于显露的毛边要进行热熔处理，一些高等级洁净服还请求对布料进行激光裁剪以削减发尘。

查看服装样式是不是合理洁净服在样式规划上请求不易积尘，包含：削减服装的褶皱；笔插不得封底；削减不必要的附件（如口袋）。另外，服装样式规划不能太宽松，能够削减服装的冲突，控制发尘。在评估一件洁净服的时候，也应把这些请求作为查核目标。 

Helmke滚筒测验除了以上这些简略的评估办法以外，在IEST-RP-CC003.3规定有Helmke滚筒测验法，用以从科学定量的视点评估洁净服及布料的发尘目标。其测验办法是将服装或消耗品放在不锈钢滚筒里翻滚，用空气微粒计数器测验每立方英尺各种巨细微粒的数量。

无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的净化设备之一，它可以地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。

无尘洁净室之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

.每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A1级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A1级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。