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洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系,净化空调系统既要服从建筑总体布局,建筑布局也要符合净化空调系统的原则,才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置,而且要给建筑布局提出要求,洁净棚设计,使其符合洁净室原理。
洁净室的平面布局
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
洁净室的平面布置可以有以下几种方式:
外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和洁净室同级。
两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。
式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,襄阳洁净棚,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。
洁净棚的价格主要和哪些因素有关?
洁净棚是在洁净室内用防静电网格帘或有机玻璃围一个小空间,上方采用HEPA及FFU送风单元组成一相对洁净室较高净化级别的空间,无尘洁净棚可配风淋室、传递窗等净化设备。
洁净棚通常都是建在洁净室内,洁净棚哪家好,所以不需要考虑风淋室、传递窗以及空调送风系统,成本与洁净室比较会大大降低,当然这与洁净棚所需材料、大小以及洁净级别有一定的关系。会将洁净棚建在无尘室之内,但有的客户不想单独建无尘车间,在洁净棚不考虑空调系统及风淋室、传递窗等净化设备的情况下,洁净棚的成本约是无尘车间造价的40%~60%,这取决于客户对洁净棚材料的选择,以及洁净棚的大小。需要洁净的区域越大,洁净棚与无尘车间的成本相比差别会越小。净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。该产品既可悬挂,不锈钢洁净棚哪家好,又可地面支撑,结构紧凑,使用方便。可以单个使用,也可多个连接组成带状洁净区域。?洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。?
湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。