企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 湖北 武汉 武汉市 |
联系卖家: | 彭总 先生 |
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公司官网: | whdcjh.tz1288.com |
公司地址: | 湖北省武汉市江岸区发展大道1168号力腾乐荟对面 |
洁净棚的温湿度控制非常重要,不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的,工艺性高也就代表着洁净度越高。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,洁净棚安装,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
洁净棚清洁抹布的质量标准
洁净棚在制药行业中也有着重要应用,而制药过程中往往会用到清洁抹布,荆门洁净棚,抹布的质量要符合相关标准。
1、空载颗粒总数(测量抹布(或其它材料)在产生与实际使用中的应力类似的应力的情况下在干燥状态下释放的空载颗粒的数),一般计算≥0.5μm的颗粒总数(单位Particles/m2/ft3)。
2、吸附能力(吸附速度和吸附量,吸附速度越快吸附量越大性能越好)。
3、液态环境总颗粒数(通过模拟测试洁净抹布在液态环境下实际使用过程中产生的颗粒总数,确定抹布在洁净环境中的适应性),一般计算≥0.5μm和≥5μm的颗粒数,单位是(millionparticles/m2),颗粒越少表示抹布性能越好。
4、不挥发残余物测试。
5、纤维释放数(通过测量抹布在液态环境中承受特定量的应力(模拟实际使用)后的总纤维负载数。一般计算>100微米的纤维数目,单位fibers/平米。
万级洁净棚的优点:
无尘棚可单独使用万级洁净棚,也可组合使用万级洁净棚。
万级洁净棚与土建式或装配式百级洁净室相比,投资少,安装简便,运行费用低。
万级洁净棚模块化结构,提高洁净度等级容易,扩展性强,洁净棚价格,且重复利用价值高。
洁净棚与洁净室到底哪个好得看客户自己的需求,介绍洁净棚与洁净室的区别,洁净棚哪家好,这样您就会知道洁净棚和洁净室到底那个更加的适合自己。
什么是洁净棚(洁净工作棚) 洁净棚,又名无尘洁净棚/净化洁净棚/百级洁净棚/千级洁净棚/万级洁净棚,为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为100~10000级,内部空间高度在2.0米左右,覆盖面积约50m2以下,四支支柱可加装活动轮,可为弹性运用,可配套风淋室使用。