洁净棚供应-洁净棚-武汉得创净化公司(查看)

洁净棚的温湿度控制非常重要，不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的，工艺性高也就代表着洁净度越高。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，洁净棚供应，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，洁净棚，这种车间不宜超过25度。

洁净棚设计：

1、洁净棚框架的配置：万级洁净棚以工业铝材作为框架，具有稳固、美观、不生锈、不产尘的特点；

2、洁净棚防静电垂帘的配置：万级洁净棚四周用防静电垂帘或者是钢化玻璃隔开，具有防静电效果好、透明度高、柔韧度好、不变形、不易老化的优势；

3、洁净棚风机滤网机组FFU的配置：万级洁净棚采用新加坡PCI直驱式离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可三档调速等特性，风机质量可靠，工作寿命长达50000小时以上；加上的风道设计，大大提高了风机的效率、降低了噪声！内部净化级别可达100-100K级；

在洁净棚中FFU是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。洁净棚具备多种洁净等级和空间搭配，因此洁净棚中的FFU可提供局部高洁净环境的空气净化设备。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成，外壳喷塑。洁净棚既可悬挂，又可地面支撑，结构紧凑，使用方便。可以单个使用，也可多个连接组成带状洁净区域，以降低成本。

洁净棚的优点：风机从FFU顶部将空气吸入，经初效过滤器、过滤器过滤，洁净棚报价，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层，使洁净空气气流呈垂直单向流，洁净棚安装，从而保证了工作区内所要求的洁净度。可单独使用，也可组合使用；模块化结构，提高洁净度等级容易，扩展性强，且重复利用价值高；