黄石洁净棚-武汉得创净化设备-洁净棚安装

洁净棚(简易无尘室)(CLEAN?BOOTH)是为快速方便建立的一座简易洁净室，洁净棚具备多种洁净等级及空间搭配可以根据使用需求设计制作，因此其简便运用弹性大安装容易且施工期短以及可移性为其主要特点，洁净棚同时可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方做局部增设以降低成本。

洁净棚是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成，外壳喷塑。该产品既可悬挂，又可地面支撑，结构紧凑，使用方便。可以单个使用，也可多个连接组成带状洁净区域。??

洁净棚采用工业铝材（或不锈钢方通、铁方通喷塑）作为框架，风机滤网机组（FFU）送风，四周悬挂防静电垂帘（或钢化玻璃），其内部净化级别可达到100-10000级。适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。

洁净棚的建立对周围环境的要求非常严格，

1、对空气的温度，湿度要求比较高，设计者要根据工艺的要求，生产洁净度级别合理选用建筑材料，考虑耐火性能，从而达到洁净棚设计要求。

2 、大多采用于要求高洁净度、外表美观，无尘、无菌的电子、、血液制品等行业生产车间地面。环氧自流坪地面的使用寿命厚度1mm以上一般可使用6年以上，以上地坪地面垫层下应铺设防潮层，混凝土分仓线不宜通过洁净区。

3、地面应用平整，洁净棚供应，无缝隙，耐磨，耐腐蚀，不易集聚静电的，便于清理的整体地面。而且还要去设计者在设计中可以采用现浇水磨石地面，所用石子直径应在6-15mm之间。其格条必须采用铜条分隔，不得采用玻璃条。

4、要求墙面应光滑，平整，不起尘，耐腐蚀，色彩和谐，便于识别污染物，内墙涂料必须采用防霉防静电和消毒的材料涂刷，墙面与地面相交处宜做半径50毫米的圆弧，以减少灰尘积聚，和便于清洁。

洁净棚的温湿度控制非常重要，不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的，工艺性高也就代表着洁净度越高。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，洁净棚定制，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，黄石洁净棚，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，洁净棚安装，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

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