洁净棚报价-宜昌洁净棚-得创净化(查看)

洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系，净化空调系统既要服从建筑总体布局，洁净棚报价，建筑布局也要符合净化空调系统的原则，才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置，而且要给建筑布局提出要求，使其符合洁净室原理。

洁净室的平面布局

洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。

洁净室的平面布置可以有以下几种方式：

外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。

内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。

两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。

式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。

洁净棚设计：

1、洁净棚框架的配置：万级洁净棚以工业铝材作为框架，具有稳固、美观、不生锈、不产尘的特点；

2、洁净棚防静电垂帘的配置：万级洁净棚四周用防静电垂帘或者是钢化玻璃隔开，具有防静电效果好、透明度高、柔韧度好、不变形、不易老化的优势；

3、洁净棚风机滤网机组FFU的配置：万级洁净棚采用新加坡PCI直驱式离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可三档调速等特性，风机质量可靠，工作寿命长达50000小时以上；加上的风道设计，大大提高了风机的效率、降低了噪声！内部净化级别可达100-100K级；

洁净棚的温湿度控制非常重要，宜昌洁净棚，不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的，洁净棚安装，工艺性高也就代表着洁净度越高。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。